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蒸镀与反应式等离子体镀膜一体设备（VAR)

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蒸镀与反应式等离子体镀膜一体设备（VAR)

  技术特点 Features  

· 集成热蒸镀（VED）和反应式等离子(RPD)镀膜；

· 产品系列从研发设备至量产设备全面布局；

· 量产产能：100 MW，250 MW。


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