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反应式等离子体镀膜设备 (RPD)
RPD镀膜适合钙钛矿、异质结太阳能电池、微型发光二极管与量子点显示器等的各种薄膜制备。
多功能薄膜沉积设备(SPE)
将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体。
涂布干燥晶化一体机
用于钙钛矿层与修饰层狭缝涂布、真空干燥与晶化；共用上下料口，基片在上下料口、涂布机与真空晶化炉间。
玻璃清洗设备
用于来料玻璃、激光划线后玻璃、盖板玻璃清洗。
钙钛矿太阳能电池全线自主量产设备
钙钛矿电池研发线；柔性钙钛矿电池中试线；百兆瓦钙钛矿薄膜电池量产线。
