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管式等离子体多晶硅淀积炉
隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一同管完成，减少工艺环节，有效提升良率、降低碎片率。
管式低压硼扩散炉
成熟BBr3液态源、BCL3气态源控制与输送技术。
管式扩散氧化退火炉
全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。
管式等离子体淀积炉
可靠电极接触，有效减少粉尘、降低高频报警频次。
管式低压淀积炉
低压与热壁工艺特性，成膜均匀性、致密性好。
管式低压磷扩散炉
独特双嵌套炉门结构，有效解决炉口偏磷酸问题。
管式原子层镀膜设备
单腔体设计，占地面积小，操作时间短；适应不同前驱体、不同材料的多层复合膜层镀膜，工艺拓展空间大。
