多功能薄膜镀膜设备
多功能薄膜镀膜设备
技术特点 Features
· 集成热蒸镀（VED）、磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD)镀膜；
· 一台SPE1000T满足钙钛矿薄膜镀膜需求，等同三台设备产能；
· 连续真空镀膜，减少基板装/卸及膜层暴露大气次数，有利于器件效率提升；
· 净化厂房面积需求缩小40%，设备成本降低30%。
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量产型蒸镀设备
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