技术特点 Features
· 模块化设计，设备更加灵活。可根据需求快速调整产线的规模和配置；
· 直线型布局，搭载托盘自动下回流系统，全流程自动化；
· 采用完全自主知识产权的线性蒸发源设计，蒸发源多段控温、热场均匀；
· 高精准度的控制系统，温度、速率在线实时监控。
