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涂布干燥晶化一体机

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涂布干燥晶化一体机

  技术特点 Features  

· 用于钙钛矿层与修饰层狭缝涂布、真空干燥与晶化;

· 共用上下料口,基片在上下料口、涂布机与真空晶化炉间;

· 自动传递;

· 气浮双龙门结构,可实现单工位涂布两种不同的溶液;

· 密封防尘外罩,一体机氛围可控。