单面卷绕蒸发溅射一体机
单面卷绕蒸发溅射一体机
技术特点 Features
· 蒸发腔、溅射腔共存；
· 蒸发腔：单面蒸发，可镀铝、锂等低温蒸发材料；
· 溅射腔：6对旋转靶，可替换平面靶；
· 后腔：可进行加热、冷却、气体处理、plasma处理等。
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