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蒸镀与反应式等离子体镀膜一体设备（VAR)
集成热蒸镀（VED）和反应式等离子(RPD)镀膜；产品系列从研发设备至量产设备全面布局。
反应式等离子体镀膜与磁控溅射镀膜 一体设备（PAR）
集成磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD)镀膜；产品系列从研发设备至量产设备全面布局。
多功能薄膜镀膜设备
集成热蒸镀（VED）、磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD)镀膜，设备成本降低30%。
量产型蒸镀设备
模块化设计，设备更加灵活。可根据需求快速调整产线的规模和配置。
实验型蒸镀设备
根据钙钛矿工艺体系定制化设计，可进行共蒸或顺蒸实验需求。
点源蒸镀设备
单腔体设计，占地面积小，操作时间短；配置多组蒸发源，可实现共蒸。
管式原子层镀膜设备
单腔体设计，占地面积小，操作时间短；适应不同前驱体、不同材料的多层复合膜层镀膜，工艺拓展空间大。
涂布干燥晶化一体机
用于钙钛矿层与修饰层狭缝涂布、真空干燥与晶化；共用上下料口，基片在上下料口、涂布机与真空晶化炉间。
激光划线清边机
用于钙钛矿电池P1~P3的刻蚀划线以及P4清边；共用上下料口，电池片在上下料口和激光机间自动传递。
玻璃清洗设备
用于来料玻璃、激光划线后玻璃、盖板玻璃清洗；研发适配清洗洗剂与设备工艺相结合。
钙钛矿太阳能电池全线自主量产设备
钙钛矿电池研发线；柔性钙钛矿电池中试线；百兆瓦钙钛矿薄膜电池量产线。
光注入退火炉
双轨产线，机架电气完全独立，互不干扰。
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