2024年，公司子公司创微微电子（常州）有限公司（以下简称：创微微电子）先后中标江苏、湖北两家SiC功率器件Fab整厂湿法设备项目；2025年，又成功取得湖南某硅基功率器件Fab整厂湿法槽式清洗设备订单。短短两年内，创微微电子在功率半导体领域实现从第三代半导体SiC到传统硅基功率器件的全线布局与跨平台验证，进一步夯实了公司在湿法装备领域的综合竞争力与国产替代优势。

 一、连续中标，多地功率器件产线选择国产整线方案

2024年，创微微电子凭借在槽式湿法清洗与特殊表面处理领域的技术积累，成功中标江苏、湖北两家SiC功率器件Fab，提供涵盖晶圆前处理、刻蚀后清洗、金属及介质层清洗、终端工艺清洗在内的整厂湿法设备解决方案。

2025年，创微微电子再下一城，取得湖南某硅基功率器件Fab湿法槽式无篮清洗设备整线订单，实现了从SiC到硅基功率器件Fab的跨平台复制与规模化导入。这也意味着，创微微电子的整线能力已经在国内多家功率器件厂完成落地和验证。

 二、整厂湿法解决方案：从工艺到设备的一体化交付

本次整厂订单，创微微电子将为客户提供：

· 全流程湿法工艺覆盖：包括前清洗、刻蚀后清洗、金属/介质层间清洗、终检前清洗等关键环节。

· 槽式无篮湿法平台：兼容6吋/8吋功率器件产线，重点优化颗粒控制、金属离子残留及水印缺陷。

· 整线集成与自动化：与Fab EAP系统对接接口，实现设备状态监控与工艺数据追溯。

· 从导入到量产的全周期服务：涵盖工艺评估、联机验证、良率爬坡与长期优化支持。

通过“工艺+设备+服务”的一体化交付模式，创微微电子帮助客户在缩短导入周期的同时，提高良率与产线稳定性，降低整体拥有成本。

三、SiC+硅基双轮驱动，助力国产功率半导体产线升级

随着新能源汽车、光伏、储能等应用的快速发展，功率器件对高耐压、高可靠性的要求持续提升。SiC功率器件加速放量的同时，硅基功率器件仍在大量应用场景中发挥主力作用。

创微微电子通过：

· 在SiC Fab的整线实践中积累的高要求表面清洁与缺陷控制经验。

· 在硅基功率器件Fab中实现工艺平台和设备配置的优化与复制。

形成了覆盖SiC与硅基功率器件的双轮驱动产品与工艺能力，持续推动国内功率半导体产线的技术升级与国产装备导入。

四、扎根湿法工艺，服务全球客户

未来，依托87978797威尼斯老品牌在新能源及半导体装备领域的产业布局，创微微电子将继续深耕：

· 槽式湿法清洗及特殊表面处理平台。

· 面向SiC、GaN及硅基功率器件的定制化工艺方案。

· 高自动化、智能化的整厂湿法解决方案。

在服务好现有国内客户的基础上，积极拓展海外市场合作机会，与更多功率器件厂商携手，推动中国湿法装备走向更高电压、更严苛可靠性和更大规模量产的应用场景，为全球功率半导体产业链贡献“捷佳方案”“中国装备”的力量。